1、掃描電鏡的相對極限適用表征形貌標準--結構特征放大到3-6mm，能看出基本外形和結構特征。儀器觀測條件需要發(fā)揮到相對極限。操縱難度高，需要極大耐心豐富的操縱經(jīng)驗。

    場發(fā)射大型掃描電鏡有效表征：20nm-40nm對應倍數(shù)15萬-30萬倍對應觀察視野寬度800nm--400nm

    六硼化鑭大型掃描電鏡有效表征：40nm-80nm對應倍數(shù)7.5萬-15萬倍對應觀察視野寬度1.6μm--800nm

    鎢燈絲大型掃描電鏡有效表征：60nm-120nm對應倍數(shù)5萬-10萬倍對應觀察視野寬度2.4μm--1.2μm

    小型桌面臺式掃描電鏡有效表征：400nm-800nm對應倍數(shù)7500x-15000x對應觀察視野寬度16μm--8μm

    2、掃描電鏡中等潛能適用表征形貌標準--結構特征放大到3-6mm，能看出基本外形和結構特征。儀器觀測條件設置在中等水平，操縱難度適中，一般經(jīng)過系統(tǒng)培訓可以實現(xiàn)。

    場發(fā)射大型掃描電鏡40nm-80nm對應倍數(shù)75000x-150000x對應觀察視野寬度1.6μm--800nm

    六硼化鑭大型掃描電鏡80nm-170nm對應倍數(shù)35000X-75000X對應觀察視野寬度3.5μm--1.6μm

    鎢燈絲大型掃描電鏡120nm-600nm對應倍數(shù)25000x-50000x對應觀察視野寬度4.8μm--2.4μm

    小型桌面臺式掃描電鏡800nm-1600nm對應倍數(shù)3750x-7500x對應觀察視野寬度32μm--16μm

    3、掃描電鏡一般使用對應的形貌特征標準-結構特征放大到3mm以上。儀器觀測條件設置在中等水平以下，操縱簡單，一般簡單培訓即可上機操縱。

    場發(fā)射大型掃描電鏡大于80nm對應倍數(shù)小于75000x對應觀察視野寬度大于1.6μm

    六硼化鑭大型掃描電鏡大于170nm對應倍數(shù)小于35000X對應觀察視野寬度大于3.5μm

    鎢燈絲大型掃描電鏡大于240nm對應倍數(shù)小于25000x對應觀察視野寬度大于4.8μm

    小型桌面臺式掃描電鏡大于1600nm對應倍數(shù)小于3750x對應觀察視野寬度大于32μm

    光學顯微鏡的有效放大倍數(shù)1000倍：對應的觀察視野寬度大于120μm

    就像汽車的經(jīng)濟速度，我們選擇掃描電鏡也一樣，能夠經(jīng)常使用在其分辨任性能的一半或者zui高有效放大倍數(shù)的一半左右，是zui經(jīng)濟的。針對大型鎢燈絲掃描電鏡，掃描電鏡應該長期的保持在4.8μm--2.4μm視野范圍內(nèi)有效觀察。

    掃描電鏡往往有維護周期，在維護周期內(nèi)，隨使用時間推移，掃描電鏡的性能會不斷下降。假如考慮掃描電鏡干擾因素，性能不斷下降因素，獲得均勻性能的發(fā)揮，以上數(shù)據(jù)須打折扣。掃描電鏡的使用方法和維護很重要''如不能正確使用和維護''發(fā)揮出中等能力也很困難，只能是低水平應用。

    掃描電鏡應用是科學也是藝術，經(jīng)驗豐富的專業(yè)職員能夠發(fā)揮其zui大潛能，而大多使用者令其在中間能力發(fā)揮作用，在中等條件下，獲得良好好的圖像質量。假如希望看圖像質量更好，甚至達到藝術級別，那么需要相應的進步儀器檔次，或者降低儀器使用表征標準范疇。

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