和光學(xué)顯微鏡及透射電鏡相比，掃描電鏡具有以下特點：

    (一)能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu)，樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。

    (二)樣品制備過程簡單，不用切成薄片。

    (三)樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn)，因此，可以從各種角度對樣品進(jìn)行觀察。

    (四)景深大，圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍。

    (五)圖象的放大范圍廣，分辨率也比較高?？煞糯笫畮妆兜綆资f倍，它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間，可達(dá)3nm。

    (六)電子束對樣品的損傷與污染程度較小。

    (七)在觀察形貌的同時，還可利用從樣品發(fā)出的其他信號作微區(qū)成分分析。

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